水力薄膜吸收技術

 

§ 濕式洗滌塔(cross flow wet scrubber)

  • 適合高效率酸鹼廢氣濕式洗滌處理系統。
  • 結構性的填充料(structure packing)與傳統的拉西環比較,有較大的比表面積(128m2/m3)。
  • 對於水溶性佳的酸性物質,即使是低濃度的狀態,以水力薄膜吸收技術處理也會有良好的效率。
  • 酸鹼廢氣處理效率95%~99%。

 

§ 氣態分子污染(AMCs)控制技術

  • 適合PPB等級濃度的水溶性AMCs控制。
  • 不需要添加任何化學藥品,只要以純水或市水做為吸收液即可,符合綠色製程環保科技潮流。
  • 對於NH3HF及SOx等AMCs都有很好的處理效率,使用實績非常豐富。
  • 對於不溶於水的1μm微粒(fine particles)也有很好的處理效率。
  • 應用領域包括IC產業(奈米製程及銅製程)、TFT LCD產業(銅製程)及生物科技產業等。

 

§ 酸性煙霧去除裝置(acid fume removal system)

  • 適合酸性煙霧去除裝置系統。
  • 對於水溶性酸性煙霧不需要添加任何化學藥品,不溶於水的酸性煙霧則必須添加適合的化學藥劑(如氧化劑、還原劑等)。
  • 對於鹽酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、醋酸(CH3COOH)及硝酸(HNO3)等,都有很好的去除效率。

  

§ 濕牆式文式洗滌塔(wet wall ventrui scrubber)

  • 適合廢氣中含有固體細微粒(ex、SiO2等)的溼氣洗滌塔。
  • 固體細微粒(fine particles)不溶於水,穿越濕牆時會受到水中電位影響產生沾溼的現象,沾溼的現象會延緩固體細微粒在空氣中的運動。
  • 對於高科技產業(IC、TFT LCD and solar cell等)的CVD製程矽基排氣(SiH4、TEOS等)的SiO2(白煙)有很好的處理效果。

 

§ 工程實績

 

    

 

 

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