因制程排氣會有高沸點的VOC及有些化學品在高溫時會裂解碳化或聚合形成完全無法脫出來的成份，而殘存於 GBAC 孔洞內，此時則需加設線上活化裝置，(Carbon Reactivation System)另採用反應的方法使這些殘存物，於750~900度間反應成為氣體排出，以便恢復孔洞或生新的孔洞。
其反應如下： C（殘留份）＋H2O → △ CO＋H2 而此系統是串接在GFD脫附系統的活性碳出料孔，利用輸送器輸送活性碳並加濕送進活化爐內活化，由送風機送風將脫附的VOC排到原來GFD脫附系統的高溫爐處理，活化後的活性碳經冷却在輸送到吸附塔內，此系統可在活性碳吸附效能減低時開機活化，可讓活性碳重複的使用而不須委外處理及更換新碳增加操作成本，此系統設氮氣的防護機制及使用電熱活化(約20KW)相當的安全。
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