§ VOCs冷凝(吸收)系統
- 適合高沸點揮發性有機物質(VOCs)處理系統。
- 對於水溶性佳的揮發性有機物質(VOCs),即使是低濃度的狀態,以冷凝吸收的原理回收VOCs,也會有良好的效率。(2002年領先對客戶發表此新技術)
- 高沸點VOCs回收效率≧90%。
§ VOCs冷凝(吸收)+UPFs(超細微粒過濾)系統
- 適合高沸點揮發性有機物質(VOCs)處理系統。
- 配合冷凝吸收原理,對於水溶性佳的揮發性有機物質(VOCs)可以提高冷凝溫度(5℃~20℃以上),降低冰水用量(特殊條件時機乎不需要冷凝),就能達到節能減碳目標。
- 高沸點VOCs回收效率非常優良(95%~99%)。
§ 可以回收(處理)的溶劑
- 高沸點的溶劑(去光阻劑/光阻剝離劑、樹脂溶劑等),例如ACT-935,EKC-162、EKC-265、EKC-800、EKC-830、EKC-922、N-300、RNS-409及TOK-106等,這些主要VOCs成分有BDG、DMAc、DMF、DMSO、MEA and NMP等。
§ 工程實績
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