§ 前言
以流體化床系統(Fluidized Bed Concentrator System)處理揮發性有機廢氣(Volatile Organic Compounds)，創始於1970年。主要原因乃是珠狀活性碳(Beaded Activated Carbon)的創新發明，BAC是以煤炭(coal)或石油焦(Petroleum Pitch)為基本原料所製成，具有耐磨耗性的材質。
舉凡具有規模的歐美跨國性外商企業，皆以"安全、環保、健康"為首要條件，1993年更獲得半導體業領導廠商Intel(英特爾)的採用。
§ 設計要點
- VOC的分流(提昇VOC排氣的處理效率)
- Pre-abatement System(提昇VOC排氣處理系統效率)
- 排氣風車的控制模式(排氣風管靜壓及壓力波動控制)
- 排氣風管的設計(降低風車的能源消耗)
- 排氣煙囪的設計(增進污染物質的擴散效能及降低空調系統的負荷)
§ 設計原理概要
揮發性有機廢氣(VOC)經由排氣風機進入吸附塔底部，通過空氣分配器，將VOC廢氣均勻分配，直接向上穿透一連串的篩狀托盤，流體化的珠狀活性碳均勻分佈在拖盤上，逆向接觸VOC廢氣，活性碳可以有效地自VOC廢氣中去除有機溶劑蒸氣。
吸附飽和的活性碳(BAC)，自吸附塔最底層的拖盤掉落至底部的收集槽中，經過BAC輸送系統輸送至脫附塔的頂部。BAC由脫附塔頂部向下流，穿過脫附塔中段之加熱區，BAC通過加熱區時VOC自BAC的孔洞中被脫附出來，熱氣被引進脫附塔內部，向上逆流過BAC層，攜帶已被脫附的VOC到氧化爐內，溶劑(Solvent)在氧化爐內被高溫破壞。
已經再生完成的BAC，經由BAC輸送系統送回到吸附塔頂部，流過吸附塔頂部的冷卻區段，被冷卻後繼續使用。
溶劑(Solvent)因經過活性碳(BAC)吸附濃縮後，於脫附塔排氣中濃度提高為製程排氣之20~50倍(濃縮比)，在氧化爐內之高溫破壞時因溶劑(Slovent)之內含熱值，可降低燃料(電能)之消耗，達到節能之效益。
§ BAC線上活化系統概要
因製程排氣會有高沸點的VOC及有些化學成分，在脫附溫度時會裂解碳化或聚合，形成完全無法脫附出來的成分，而殘存於GBAC孔洞內，此時則須加設線上活化裝置，另採用更高溫之反應方法使這些殘存物，於500~600℃間反應成為氣體排出，以便恢復孔洞或生新的孔洞，而此系統是串接在脫附系統的活性碳出料孔，利用輸送器輸送活性碳並加濕送進活化爐內活化，由送風機送風將脫附的VOC排到原來脫附系統的高溫氧化爐處理。
活化後的BAC經冷卻再輸送到吸附塔內，此系統可在BAC吸附效能降低時再行開機活化，讓BAC重複使用而不須委外處理或更換新BAC，降低操作成本，此活化系統設氮氣防護機制及使用電熱活化(約20KW)相當安全。
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